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NREM第三階段佔總睡眠的15至25%，是所有睡眠階段中最深的階段。這個階段主要包含高振幅和低頻率的Delta波。因此，它也被稱為慢波睡眠（SWS）。要從這個階段中醒來是非常困難的。試圖這樣做往往會導致一段強烈的呆滯和認知功能受損的時期——睡眠惰性（sleep inertia）。NREM3通過膠淋巴系統（glymphatic system）在維護大腦方面發揮著關鍵作用。這過程需要約30至60分鐘的連續的NREM3才能完成，因此只包含短暫小睡的時程可能會阻礙到此功能。